產(chǎn)品介紹
金剛石退火真空爐是一種用于在真空或惰性氣體環(huán)境下對金剛石材料進行高溫退火、燒結處理的專用設備。這種設備在材料科學、半導體制造、超硬材料加工等領域有重要應用。
可通入氬氣、氮氣等惰性氣體，用于特定工藝需求。
溫度范圍：
低溫退火：600~1200°C(用于表面改性)。
高溫退火：1400~1700°C(用于深層次缺陷修復)。
時間控制：數(shù)分鐘至數(shù)小時，依材料厚度和工藝目標調(diào)整。
金剛石退火真空爐應用領域
半導體行業(yè)：
CVD金剛石膜退火，提升其作為半導體襯底的質(zhì)量(如用于高功率器件、散熱基板)。
珠寶加工：
天然/人造金剛石的顏色優(yōu)化(高溫處理可改變氮-空位缺陷，影響顏色)。
量子技術：
金剛石中氮-空位色心(NV色心)的調(diào)控，用于量子傳感與計算。
刀具與超硬材料：
以金剛石刀具(多晶金剛石刀具(PCD))的退火處理(退火溫度600-700℃)，提高耐磨性和熱穩(wěn)定性。
設備應用
針對材料的高溫燒結工藝保證耐熱及絕緣性可靠性設計，新型電極結構避免了高溫爐電極漏水現(xiàn)象，并且加熱系統(tǒng)中的易損部件更便于維修和更換。
耐熱性高
安全性好
維修高效
金剛石退火真空爐主要用于
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硬質(zhì)合金
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陶瓷（氧化鋯陶瓷、氧化鋁陶瓷等）
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磁性材料
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粉末材料
技術參數(shù)
| 型號 | 加熱區(qū) | 可使用溫度 | 功率 | 電源 |
|---|---|---|---|---|
| BR-QHM-223 | 200*200*300 | 500-1600℃ | 42kW | 380V |
| BR-QHM-334 | 300*300*400 | 500-1600℃ | 72kW | 380V |
| BR-QHM-446 | 400*400*600 | 500-1600℃ | 120kW | 380V |
| BR-QHM-557 | 500*500*700 | 500-1600℃ | 160kW | 380V |
| BR-QHM-669 | 600*600*900 | 500-1600℃ | 225kW | 380V |
