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    華為技術有限公司定制鄭州博納熱電爐外加熱式氣氛爐發貨

    • 所屬欄目:氣氛爐案例
    • 發布時間: 2025-05-08

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    客戶背景

    華為技術有限公司作為全球領先的通信技術解決方案提供商,在半導體材料、新型電子元件研發等領域對高溫熱處理設備提出了嚴苛要求。需定制一款外加熱式氣氛爐,用于氮化硅等半導體材料的實驗和小批量生產,要求設備具備高精度控溫、預抽真空、惰性氣體保護及快速交付能力。

    華為技術

    需求分析

    1、技術需求

    溫度范圍:需覆蓋室溫至1000℃,長期穩定運行。

    控溫精度:±1℃,支持多段編程自動控溫。

    氣氛控制:預抽真空至-0.08MPa,通入氮氣或氬氣以降低氧含量。

    結構設計:全密閉爐膛,雙層風冷外殼,確保安全性和散熱效率。

    2、定制化需求

    爐膛尺寸:根據華為實驗樣品規格,定制300×300×400mm的爐膛空間。

    配件擴展:集成觸摸屏操作界面、三路氣體流量控制系統及直連式真空泵。

    3、交付要求

    快速生產:從下單到交付需在30天內完成。

    技術支持:提供現場安裝調試及終身維護服務。

    外加熱式氣氛爐

    解決方案

    鄭州博納熱窯爐有限公司基于其箱式氣氛爐得基礎上,為華為量身定制了BR-TF1000外加熱式氣氛爐,具體方案如下:

    1、核心參數優化

    溫度控制:采用工業級0.2精度PID儀表,50段可編程曲線,支持0-20℃/分鐘加熱速率,確保材料處理工藝的精確復現。

    爐膛尺寸:φ400x600mm

    真空與氣氛系統:預抽真空后通入氮氫混合氣體,并通過浮子流量計實現氣體流量精準調節。

    2、定制化功能升級

    智能交互:集成7寸觸摸屏及電腦連接軟件,支持工藝曲線存儲與遠程監控。

    安全防護:超溫報警、熱電偶斷裂保護及漏電斷路器,符合實驗室安全標準。

    3、罐體外熱式氣氛爐技術參數

    序號技術參數BR-TF1000
    1額定加熱功率40KW(±10%)
    2設計溫度1000℃
    3長期工作溫度≤1000℃(此溫度為驗收溫度)
    4加熱元件北京首鋼HRE絲
    5控溫精度充氣時±2℃;穩定時±1℃
    6溫度均勻性1000℃時三芯熱電偶檢測有效工作區±5℃
    7爐膛尺寸(寬×高×長)

    φ400x600mm

    8工作壓力≤0.03MPa
    9冷態極限真空度7X10-3Pa(空爐并經凈化)
    10測溫傳感器K型熱電偶
    11冷卻方式充氣自然冷卻
    12保護氣氛氧氣、氮氣、氬氣、空氣等
    14控制方式手動/自動自由切換
    15爐體加熱方式熱壁式加熱(外加熱)
    17控制方式

    PID控制

    18升溫速率≤10℃/min

    3、交付與服務

    依托博納熱自有生產線,30天內完成設備組裝并通過72小時老化測試。

    提供一年整機質保及成本價配件供應,技術人員現場調試并培訓操作流程。

    實施效果

    效率提升:設備交付后,華為實驗室成功將氮化硅燒結周期縮短30%,良品率提升至98%以上。

    工藝適配性:多段編程功能支持復雜熱處理曲線,滿足半導體材料研發的多樣化需求。

    長期合作:基于此次合作,華為與博納熱簽署戰略協議,后續定制多臺大功率氣氛爐用于6G材料量產。

    客戶評價

    “博納熱團隊的專業性和響應速度令人印象深刻,定制化方案完全契合我們的技術要求,設備運行穩定,為研發效率提供了有力保障。”

    ——華為材料實驗室負責人

    案例總結

    鄭州博納熱通過技術定制+快速交付模式,為華為提供了高性能外加熱式氣氛爐,展現了其在高溫設備領域的技術積累與服務能力。

    博納熱集團

    鄭州博納熱電爐工廠實景

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